附录G 洁净室气密性检测方法

　　附录G 洁净室气密性检测方法

　　G.1 原 理

　　G.1.1 保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。

　　G.1.2 可按以下方法进行检测：

　　1 压力衰减法

　　使室内达到某一压力(正压或负压)，关闭加压或抽负压系统，观察压力随时间衰减的情况，记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。

　　2 恒压法

　　使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压，使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。

　　G.2 压力衰减法

　　G.2.1 测试系统如图G.2.1所示。

　　G.2.2 可按以下步骤进行检测

　　1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管(或排风管)上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，并维持各种孔洞缝隙的密封现状。

　　3 开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力(压力计量程至少为测试压力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa)，压力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。

　　4 或反之关闭送风管上的阀门，如果送风管上无阀或阀不严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口，开启排风，使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后，停止排风，关闭排风气密阀门。

　　5 从停上送(排)风起，记录压力随时间衰减的数据，每1min记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。

　　6 测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。

　　7 如果需要进行重复测试，20min后进行。

　　8 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

　　G.2.3 检测报告应包括以下内容：

　　1 检测条件，包括室内温度等。

　　2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度;所测洁净室压力、温度的动态变化;检测持续的时间。

　　3 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1/2时的时间内压力衰减率;所测洁净室围护结构严密性的评价。

　　G.3 恒 压 法

　　G.3.1 测试系统如图G.3.1所示。

　　G.3.2 可按以下步骤进行检测：

　　1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管(或排风管)上的阀门，如果风管上无阀或阀不严，应在回风口(或排风口)上用塑料膜加肓板的方法封住风口。

　　3 开启送风，使室内压力上升至500Pa，停止送风，关闭送风阀门。

　　通过围护结构上的孔洞和导管，由送风机或空气压缩机向室内补气，通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量，以维持洁净室内的压力稳定不下降，每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数，此数即为漏气量，测试持续的时间宜不超过5min，取平均值。

　　4 反之关闭送风阀，开启排风，当室内压力下降至-500Pa时关闭排风，开启真空泵保持室内压力，记录真空泵抽气量，此数即漏泄量。

　　5 测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。

　　6 如果需要进行重复测试，20min后进行。

　　7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

　　G.3.3 检测报告应包括以下内容：

　　1 检测条件，包括室内温度等。

　　2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度;室内温度的动态变化;漏泄量的动态变化。

　　3 检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率;所测洁净室围护结构严密性的评价。

　　G.4 安全要求

　　G.4.1 应制定防范预案。

　　G.4.2 必须对被检验室内的温度进行监测。

　　G.4.3 恒压法测试持续时间不宜太长。