15、微振控制

　　15 微振控制

　　15.1 一般规定

　　15.1.1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。

　　15.1.2 设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规定：

　　1 总平面布置时，应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响;

　　2 设有精密设备、仪器的洁净厂房，其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计;

　　3 对设有精密设备、仪器的洁净室(区)有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施;

　　4 洁净室(区)内精密设备、仪器，经测试确认受到周围振动影响时，应采取被动隔振措施。

　　15.2 容许振动值

　　15.2.1 微振动控制设计应根据精密仪器、设备的特性，采取综合隔振措施，并应满足容许振动值的要求。

　　15.2.2 精密设备、仪器的容许振动值物理量的表述，应采用时间域或频率域的振动加速度、振动速度和振动位移等。

　　15.2.3 精密仪器、设备的容许振动值，应由制造商提供。无法确定时，可按本规范附录C或根据其工作特性确定。

　　15.3 微振动控制设计

　　15.3.1 洁净厂房的微振动控制设计，应按下列阶段进行微振动测试分析。

　　1 场地环境振动测试及分析;

　　2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析;

　　3 精密设备、仪器安装地点环境振动测试及分析;

　　4 微振动控制的最终测试及分析。

　　15.3.2 有微振动控制要求的洁净室(区)，其建筑结构的微振动控制设计，应符合下列规定：

　　1 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上，且基础应有足够刚度;

　　2 应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔;

　　3 主体结构应根据微振动控制的要求，适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。

　　15.3.3 有强烈振动的设备和管道，宜采取主动隔振措施，并应符合下列要求.

　　1 宜采用隔振台(座);

　　2 应选用刚度适当的隔振器，

　　3 通往洁净室(区)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。

　　15.3.4 洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计，应符合下列要求：

　　1 隔振台(座)应具有足够的刚度;

　　2 应采用低刚度隔振设施;

　　3 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15;

　　4 隔振台(座)应采取倾斜校正措施;

　　5 隔振设施不应影响气流流型，

　　6 当采用空气弹簧隔振器时，其供气系统应进行净化处理，并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。