10、气体供应

　　10 气体供应

　　10.1 一般规定

　　10.1.1 洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。

　　10.1.2 常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。

　　10.1.3 洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB 50177和《氧气站设计规范》GB 50030等的有关规定。

　　10.1.4 洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。

　　10.1.5 洁净室(区)内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷，穿过洁净室(区)的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采取密封措施。

　　10.1.6 可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间;当必须穿过时应设套管或双层管。

　　10.1.7 高纯气体管道设计应符合下列规定：

　　1 管径应按气体容许流量、压力或生产工艺设备确定，管外径不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

　　2 不得出现不易吹除的“盲管”等死空间，

　　3 管道系统应设置吹扫口和取样口。

　　10.1.8 洁净厂房的可燃气体管道系统应设置下列安全设施：

　　1 可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁;

　　2 接至用气设备的支管和放散管，宜设置阻火设施;

　　3 引至室外的放散管，应设置防雷保护设施，

　　4 应设置导除静电的接地设施。

　　10.1.9 气体过滤器应根据产品生产工艺对气体洁净度的要求进行选择和配置。终端气体过滤器应设置在靠近用气点处。

　　10.2 常用气体系统

　　10.2.1 常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、瓶装气体。

　　10.2.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。放散管引至室外，应高出本建筑的屋脊1m，并应采取防雨、防杂物侵入的措施。

　　10.2.3 气体纯化装置的设置，应符合下列要求：

　　1 气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;

　　2 气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时，气体纯化间宜与气体入口室合建;

　　3 各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时，也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内;

　　4 气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。

　　10.2.4 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设置在气体入口室。

　　10.2.5 气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间(站)或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：

　　1 应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施;

　　2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀;

　　3 应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置;

　　4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁;

　　5 应设置导除静电的接地设施。

　　10.2.6 洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术措施：

　　1 管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理;

　　2 应设置导除静电的接地设施;

　　3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。

　　10.2.7 各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室(区)内，但应采取不积尘和易于清洁的措施。

　　10.2.8 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜符合下列规定：

　　1 气体纯度大于或等于99.999999%时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀;

　　2 气体纯度大于或等于99.999%、露点低于-76℃时，宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀;

　　3 气体纯度大于或等于99.99%、露点低于-60℃时，宜采用内壁抛光的不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其余气体管道宜采用球阀;

　　4 气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

　　10.2.9 气体管道连接，应符合下列规定：

　　1 管道连接应采用焊接，

　　2 不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊;

　　3 管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫;

　　4 管道与设备的连接应符合设备连接的要求。当采用软管连接时，宜采用金属软管。

　　10.3 干燥压缩空气系统

　　10.3.1 洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定，

　　1 供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定，并应设有一定的备用供气量;

　　2 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;

　　3 供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;

　　4 应选用能耗少、噪声低的设备，宜选用无油润滑空气压缩机;

　　5 含水量要求严格时，宜选用加热再生吸附干燥装置。

　　10.3.2 干燥压缩空气管道内输送露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光低碳不锈钢管或内壁电抛光不锈钢管;露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

　　10.3.3 管道连接应符合下列规定：

　　1 宜采用焊接，不锈钢管应采用氩弧焊;

　　2 含水量露点严于-40℃时，用于管道连接的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫;

　　3 当采用软管连接时，宜采用金属软管。

　　10.4 特种气体系统

　　10.4.1 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。

　　10.4.2 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室(区)分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

　　10.4.3 洁净室(区)内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定：

　　1 特种气体钢瓶(含硅烷或硅烷混合物)应设置在具有连续机械排风的特气柜中;

　　2 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源;

　　3 一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱;

　　4 可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10.1和10.2节的有关规定。

　　10.4.4 特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定：

　　1 应设置应急切断装置;

　　2 应设置过流量控制装置，

　　3 应设置手动隔离阀;

　　4 吹扫气源不宜采用常用气体系统;

　　5 不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。

　　10.4.5 硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定：

　　1 储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上;

　　2 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m;

　　3 储存区顶棚的高度应大于3.5m。